Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine 4200M-R

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine 4200M-R

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

用

■ 半導(dǎo)體制造設(shè)備

■ FPD 制造設(shè)備

■ 太陽能電池制造設(shè)備

■ 玻璃、鏡頭等光學(xué)元件的加工

■ 薄膜加工

■ 加速器/空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備

■ 省電設(shè)計(jì)

■ 設(shè)定參數(shù)、運(yùn)行數(shù)據(jù)、異常歷史等可存儲在泵體內(nèi)。
* 即使在大修期間更換控制器，也可以
傳輸數(shù)據(jù)。

■ 各種通信規(guī)格 EtherCAT 兼容

■ 國際 CE/NRTL/SEMI-S2

渦輪分子泵的核心優(yōu)勢

真空性能

可獲得10??mbar以上的超高真空

抽速曲線平坦，工作范圍寬

對輕質(zhì)氣體（如氫氣）抽速高

清潔無污染

無油，不會(huì)產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴?/p>

適合潔凈敏感工藝

符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)

高效節(jié)能

比擴(kuò)散泵節(jié)能50%以上

快速啟動(dòng)，縮短工藝周期

功率因數(shù)高

穩(wěn)定可靠

平均時(shí)間超過30000小時(shí)

抗突發(fā)大氣沖擊能力強(qiáng)

振動(dòng)噪聲小

智能控制

變頻調(diào)速功能

實(shí)時(shí)狀態(tài)監(jiān)測

故障自診斷系統(tǒng)