Osaka Vacuum大阪真空 超低振動型渦輪分子泵 TG1300ML

Osaka Vacuum大阪真空 超低振動型渦輪分子泵 TG1300ML

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵的典型應用領(lǐng)域

（一）半導體制造

晶圓加工設(shè)備（刻蝕、離子注入等）

光刻機真空系統(tǒng)

半導體鍍膜設(shè)備

（二）科學研究

高能物理實驗裝置

表面分析儀器（XPS、AES等）

空間環(huán)境模擬設(shè)備

（三）分析儀器

質(zhì)譜儀

電子顯微鏡

同步輻射裝置

（四）特種工藝

分子束外延（MBE）

納米材料制備

精密光學鍍膜

（五）新興領(lǐng)域

量子計算研究

核聚變實驗裝置

先進材料研發(fā)

用

• EUV 光刻設(shè)備等下一代半導體制造設(shè)備

• 高精度、高性能電子顯微鏡、分析設(shè)備、測量設(shè)備等

• 
  

半導體制造正在朝著 “小型化 ” 和 “高集成度 ”的方向發(fā)展。 同時，分析、測量和檢查過程也要求“更準確”和“更復雜”。

 為了進行微細加工和微觀區(qū)域的測量和分析，即使改進了控制技術(shù)，設(shè)備振動也毫無意義。 因此，真空泵對減振的需求非常強烈。

我們成功地將泵體的振動值抑制到 1 nm 或更??！ * 根據(jù)我們的測量方法

配備特殊的防振阻尼器，振動值進一步降低一個數(shù)量級！