Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG1307M

Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG1307M

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵的顯著特點

（一）結(jié)構(gòu)設(shè)計特征

多級渦輪葉片組（通常10-20級）

精密加工的鋁合金或鈦合金轉(zhuǎn)子

超精密軸承系統(tǒng)（陶瓷球軸承或磁懸浮軸承）

緊湊的模塊化設(shè)計

內(nèi)置智能控制系統(tǒng)

（二）性能參數(shù)特點

工作壓力范圍：10?3至10?11mbar

壓縮比高達101?（對氮氣）

抽速范圍：10-5000L/s

啟動時間短（3-15分鐘）

（三）運行維護特點

需要前級泵（通常為旋片泵或干泵）支持

對振動和沖擊敏感

定期軸承維護要求

自動保護功能完善（過載、過熱等）

• 省電設(shè)計

• 運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。

• 各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

• 國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE