2025-06-20
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG900M
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG900M
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
渦輪分子泵主要分為兩大類：
復(fù)合式渦輪分子泵：結(jié)合渦輪級和牽引級，具有更寬的工作壓力范圍
純渦輪分子泵：全部由渦輪葉片組成，在超高真空下性能更優(yōu)
現(xiàn)代渦輪分子泵通常由電機(jī)、轉(zhuǎn)子組件、軸承系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和外殼五大部分組成，采用精密動平衡技術(shù)確保高速運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。
| 進(jìn)氣法蘭 | VG150型 CF160 型 ISO-B160 材質(zhì) | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 900 |
| N2（帶保護(hù)網(wǎng)） （升/秒） | 860 | |
| H2 （升/秒） | 1050 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1,5×10%4 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大氣體流速*1 | N2 （SCCM） | 3000 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 4~5 |
| 停機(jī)時間 | （分鐘） | 4~5 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 500 / 3.8 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧250 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 重量 （kg） VG/ISO-B/CF | 34 / 42 | |
| 控制器類型 | TC010MA | |
| 特殊規(guī)格 （我們的銷售代表。 ) | -化學(xué)型 - 對應(yīng)反應(yīng)產(chǎn)物 TG-MI - 超低振動規(guī)格 TG-ML - 超高真空型 TG-MU - 耐輻射型 TG-MR | |
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