Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵 TG1400F

Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵 TG1400F

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵是一種集成了分子泵和機(jī)械泵工作原理的高真空獲取設(shè)備，通過創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了泵體在空間姿態(tài)上的靈活適應(yīng)性。與傳統(tǒng)分子泵相比，該類型泵采用了復(fù)合式抽氣機(jī)制，結(jié)合了渦輪分子泵的高抽速特點(diǎn)和牽引分子泵的高壓縮比優(yōu)勢，同時(shí)通過柔性支撐系統(tǒng)和智能控制技術(shù)，使泵體能夠在傾斜、旋轉(zhuǎn)等多種姿態(tài)下穩(wěn)定工作。

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵的技術(shù)特點(diǎn)

1. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特點(diǎn)

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵采用模塊化轉(zhuǎn)子組件，各級轉(zhuǎn)子通過柔性聯(lián)軸器連接，允許微小的相對位移。軸承系統(tǒng)通常采用混合陶瓷軸承或磁懸浮軸承，配合主動(dòng)振動(dòng)控制系統(tǒng)，確保在不同工作姿態(tài)下的運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。泵殼設(shè)計(jì)考慮了熱膨脹系數(shù)匹配問題，采用特殊合金材料制造，保證溫度變化時(shí)的幾何精度。

2. 抽氣機(jī)制復(fù)合性

前級采用渦輪分子泵結(jié)構(gòu)，由20-40級動(dòng)葉片和靜葉片交替排列組成，實(shí)現(xiàn)氣體的初步壓縮；后級轉(zhuǎn)為螺旋牽引結(jié)構(gòu)，通過高速旋轉(zhuǎn)的螺旋槽與靜止壁面形成分子流，將氣體進(jìn)一步壓縮至可被前級泵處理的壓力范圍。這種復(fù)合設(shè)計(jì)使泵在10-10?Pa范圍內(nèi)都能保持較高抽速。

3. 姿態(tài)適應(yīng)性技術(shù)

通過六維力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測泵體受力狀態(tài)，結(jié)合主動(dòng)平衡控制系統(tǒng)動(dòng)態(tài)調(diào)整轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。采用抗傾覆軸承設(shè)計(jì)和分布式潤滑系統(tǒng)，確保泵在±30°傾斜范圍內(nèi)正常工作。部分型號還配備姿態(tài)記憶功能，可自動(dòng)恢復(fù)工作參數(shù)。

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD 制造

?表面處理、表面改性

?各種電子元件的制造

?分析、檢測設(shè)備

?管材、光學(xué)元件的制造

?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

* 排放腐蝕性氣體時(shí)，請選擇化學(xué)相容性 TG-M 或 TG 系列。