Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG420MI

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG420MI

渦輪分子泵作為高真空技術的核心設備，其性能直接影響整個真空系統(tǒng)的表現(xiàn)。隨著中國在高科技領域的快速發(fā)展，渦輪分子泵的國產(chǎn)化進程正在加速，性能已逐步接近先進水平。在半導體設備自主可控的戰(zhàn)略背景下，渦輪分子泵的研發(fā)與制造已成為國家科技競爭力的重要體現(xiàn)。

對于易發(fā)生反應產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產(chǎn)物的沉積速率。

傳統(tǒng)磁浮軸承渦輪分子泵反應產(chǎn)物的對策

一種加熱包括目標部分在內(nèi)的整個周圍區(qū)域并分散熱量的方法。 它不能被有效地使用。

? 目標區(qū)域外的熱效應

TGkineMI-B 系列的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度

，減少外部加熱器的輸出功率，提高節(jié)能效果！

?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷。

?保持最佳溫度，防止在排氣管中產(chǎn)生產(chǎn)品。

用

半導體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設備

易產(chǎn)生反應產(chǎn)物的工藝設備

性能優(yōu)勢分析

與傳統(tǒng)設備對比

抽速提升50%（同體積）

能耗降低40%

維護周期延長3倍

關鍵性能指標

極限真空度（10?1? P）

抽氣速率（10-5000 m3/h）

噪音水平（<65 dB）

真空泵是通過機械、物理或化學方法從密閉容器中抽出氣體以獲得真空環(huán)境的專業(yè)設備。