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NMC-4000 PAMOCVD/等離子輔助MOCVD
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾-馬斯特中國有限公司
- 品牌
- 型號 NMC-4000
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/5/20 17:01:41
- 訪問次數(shù) 398
產(chǎn)品標(biāo)簽
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PAMOCVD/等離子輔助金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、PC全自動(dòng)控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，*的安全互鎖。
目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
型號NMC-3000的PAMOCVD系統(tǒng)
- 應(yīng)用：綠光LED(GaN, InGaN, AlGaN, ...)
- 臺(tái)式系統(tǒng)
- 5個(gè)帶獨(dú)立冷卻槽的起泡器
- 加熱的氣體管路
- 950 °C樣品臺(tái)，2”晶圓片
- 3個(gè)氣體環(huán)
- RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
- 工藝完成后N2自動(dòng)沖洗
- 極限真空5x10-7Torr
- 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
- 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
- 菜單驅(qū)動(dòng)，4級密碼訪問控制
- 完整的安全聯(lián)鎖
型號NMC-4000的PAMOCVD系統(tǒng)
- 獨(dú)立系統(tǒng)
- 14”不銹鋼立方體腔體
- 1次在8”樣品臺(tái)上處理1個(gè)6”晶圓片或在12”樣品臺(tái)上處理5片4”片子
- 加熱的氣體管路
- RF等離子源，自動(dòng)調(diào)諧
- 淋浴頭氣體分布
- 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
- N2沖洗
- 手動(dòng)或自動(dòng)的晶圓片上下載
- 可以兼容到集群配置中
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