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NOC-4000 光學元件原子級涂覆系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應商,提供的產品涵蓋了沉積、刻蝕、生長、表面處理、清洗、空間仿真儀器測試等類別。

主要的設備包含有:

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng),Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng);
PECVD等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng);
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng),DLC類金剛石沉積系統(tǒng);
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng);
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng);
RIE反應離子刻蝕系統(tǒng),DRIE深硅刻蝕系統(tǒng);
ICP電感耦合等離子系統(tǒng);
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng);
ALD原子層沉積系統(tǒng),PA-MOCVD系統(tǒng);
CNT生長系統(tǒng),石墨烯生長系統(tǒng);
PIII等離子注入系統(tǒng),RTP真空退火;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕;
Device Testing Systems設備測試(空間仿真);
Heated Platens等離子樣品臺等。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設備廣泛應用于:LED領域,MEMS領域,納米技術領域,光電子學,光伏領域,研究開發(fā)、半導體領域,空間仿真學,新興技術等。

PECVD,PA-MOCVD,蒸發(fā)系統(tǒng),離子束,ALD,等離子源,濺射,刻蝕,熱真空,兆聲清洗機,雙系統(tǒng)

Optical Coating System/光學涂覆系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)NOC-4000光學涂覆系統(tǒng)提供的技術,系統(tǒng)的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。


產品應用:

  • 光學涂層
  • 濺射
  • IBAD離子束輔助沉積
  • 離子束刻蝕清洗
  • 離子束輔助反應刻蝕
  • 紅外涂層
  • 表面處理

產品特點:

  • RF射頻偏壓樣品臺
  • 膜厚監(jiān)測儀
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 高精度及高重復性
  • 高品質膜層
  • 原子級的潔凈表面
  • 原子級清洗和拋光
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
  • 自動上下載片
  • 兩個腔體之間自動傳送
  • 菜單驅動,4級密碼訪問保護
  • 完整的安全聯(lián)鎖
  • 占地面積46”D x 44”W

選配項:

  • 向下/向上濺射
  • 共濺射
  • DC,RF以及脈沖電源
  • 離子束輔助沉積
  • 電子束源
  • 等離子源


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