NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/28 8:39:44
- 訪問次數(shù) 2231
產(chǎn)品標簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
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磁控濺射技術(shù)
NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達6"旋轉(zhuǎn)平臺，支持到2個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-1000帶有10”派熱克鐘罩腔體，2個2”的磁控管，DC直流電源用于濺射金屬，并帶有膜厚監(jiān)測儀(選配)。由于NSC-1000的空間有限，我們不能在NSC-1000系統(tǒng)上提供更多的電源和磁控管。我們可以提供我們的NSC-1000系統(tǒng)，用于SEM應(yīng)用，也可以用于濺射金屬到z大6”的晶圓片。
NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點：
- 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
- 70l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵
- 1KW DC直流電源
- 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
- 基于LabView軟件的PC計算機控制
- 帶密碼保護功能的多級訪問控制
- *的安全聯(lián)鎖功能
選配項：
- Thickness Monitor 膜厚監(jiān)測
應(yīng)用：
- SEM應(yīng)用
- 濺射金屬，可達6"的晶圓片
采購中心
化工儀器網(wǎng)