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NSC-3000(M)磁控濺射系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 美國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/4/28 8:41:18
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1849

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那諾中國(guó)有限公司專(zhuān)注于為大中華區(qū)域(包括中國(guó)大陸、香港、澳門(mén)和中國(guó)臺(tái)灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性?xún)r(jià)比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測(cè)儀器。


那諾中國(guó)提供美國(guó)那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。


那諾中國(guó)提供英國(guó)KORE基于飛行時(shí)間的質(zhì)譜儀,包含飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機(jī),PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

磁控濺射技術(shù)

NSC-3000(M)磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達(dá)6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái),支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-3000帶有12”派熱克鐘罩腔體,2個(gè)2”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體,260 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。

NSC-3000(M)磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 不銹鋼,鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃
  • 70250500 l/s的渦輪分子泵,串接機(jī)械泵或干泵
  • 13.56MHz300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
  • 帶觀察視窗的腔門(mén)易于上下載片
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
  • 帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制
  • *的安全聯(lián)鎖功能

選配項(xiàng):

  • 不銹鋼腔體
  • RF、DC濺射
  • RFDC偏壓(1000V
  • 樣品臺(tái)可加熱到700°C
  • 膜厚監(jiān)測(cè)儀
  • 基片的RF射頻等離子清洗
  • 預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片

應(yīng)用:

  • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
  • 光學(xué)以及ITO涂覆
  • 帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
  • RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射

 



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