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NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/4 15:13:28
- 訪問(wèn)次數(shù) 1987
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
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磁控濺射技術(shù)：
NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達(dá)6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-3000（A）帶有14”立方形鋁質(zhì)腔體，3個(gè)2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，我們提供不銹鋼腔體，260 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃
70或250l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門(mén)易于上下載片
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制
*的安全聯(lián)鎖功能
預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片
選配項(xiàng)：
不銹鋼腔體
RF、DC濺射
RF或DC偏壓（1000V）
樣品臺(tái)可加熱到700°C
膜厚監(jiān)測(cè)儀
基片的RF射頻等離子清洗
應(yīng)用：
晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
光學(xué)以及ITO涂覆
帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
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