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NMC-4000(M) MOCVD設備

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/28 9:21:20
  • 訪問次數(shù) 2424

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

等離子輔助MOCVD技術

NMC-4000(M) MOCVD設備概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,*的安全互鎖。

目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

NMC-4000(M) MOCVD設備特點:

  • 臺式系統(tǒng)
  • 10英寸不銹鋼腔體
  • 帶碰頭氣體分配器的射頻等離子源
  • 自動調(diào)節(jié)
  • 4英寸基片夾、可加熱到900°C
  • 5個帶獨立冷卻/加熱的起泡器
  • 加熱氣體管道
  • 附加流量控制器
  • 250升/秒渦輪分子泵組
  • 5×10-7托基準壓
  • 電腦程序全自動驅(qū)動
  • 儀器模擬用戶界面
  • 緊急按鈕保護和安全互鎖

選配:

  • 立式獨立系統(tǒng)
  • 感應耦合等離子或微波等離子源
  • 14英寸電解拋光立方體腔體
  • 8英寸或12英寸基片夾
  • 6英寸可加熱至700°C旋轉(zhuǎn)基板臺(4英寸可到950°C)
  • 附加的起泡器和MFC
  • 晶圓自動裝載/卸載
  • 可兼容集群配置

應用:

  • 3到5族半導體層
  • 藍色發(fā)光二極管
  • 激光二極管
  • 紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒
  • 3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯


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