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等離子體增強(qiáng)MOCVD

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 美國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/4/28 10:33:59
  • 訪問(wèn)次數(shù) 3062

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那諾中國(guó)有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國(guó)大陸、香港、澳門和中國(guó)臺(tái)灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性價(jià)比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測(cè)儀器。


那諾中國(guó)提供美國(guó)那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。


那諾中國(guó)提供英國(guó)KORE基于飛行時(shí)間的質(zhì)譜儀,包含飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機(jī),PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

等離子體增強(qiáng)MOCVD

等離子體增強(qiáng)MOCVD概述:

    MOVPE,也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積), 針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、PC全自動(dòng)控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無(wú)油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空),*的安全互鎖。

    目前,NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

等離子體增強(qiáng)MOCVD型號(hào):

  • 臺(tái)式系統(tǒng)
  • 5個(gè)帶獨(dú)立冷卻槽的起泡器
  • 加熱的氣體管路
  • 950 °C樣品臺(tái),2"晶圓片
  • 3個(gè)氣體環(huán)
  • RF等離子源,帶淋浴頭氣體分布
  • 工藝完成后N2自動(dòng)沖洗
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 250 l/s的渦輪分子泵串接無(wú)油干泵
  • 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • 菜單驅(qū)動(dòng),4級(jí)密碼訪問(wèn)控制
  • 完整的安全聯(lián)鎖

配置:

  • 獨(dú)立系統(tǒng)
  • 14"不銹鋼立方體腔體
  • 1次在8"樣品臺(tái)上處理1個(gè)6"晶圓片或在12"樣品臺(tái)上處理5片4"片子
  • 加熱的氣體管路
  • RF等離子源,自動(dòng)調(diào)諧
  • 淋浴頭氣體分布
  • 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
  • N2沖洗
  • 手動(dòng)或自動(dòng)的晶圓片上下載
  • 可以兼容到集群配置中

應(yīng)用:

  • 35族半導(dǎo)體層
  • 藍(lán)色發(fā)光二極管
  • 激光二極管
  • 紫外-可見(jiàn)光譜光電中的氮化銦納米棒
  • 3D2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯


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