NMC-4000（A）全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/28 9:23:37
- 訪問次數(shù) 2187
產(chǎn)品標(biāo)簽
進(jìn)口全自動(dòng)PAMOCVD進(jìn)口全自動(dòng)PEMOCVD全自動(dòng)等離子MOCVD
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
|---|
等離子輔助MOCVD技術(shù)
NMC-4000（A）全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)概述：NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個(gè)氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動(dòng)控制，*的安全互鎖。
目前，這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
NMC-4000（A）全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)應(yīng)用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
特點(diǎn)：
- 獨(dú)立系統(tǒng)
- 14”不銹鋼立方體腔體
- 1次在8”樣品臺上處理1個(gè)6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
- 加熱的氣體管路
- RF等離子源，自動(dòng)調(diào)諧
- 淋浴頭氣體分布
- 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
- N2沖洗
- 全自動(dòng)上下載片
- 可以兼容到集群配置中
采購中心
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