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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>PSM-4K系列 4K閉循環(huán)低溫探針臺(tái)


上海柯舜科技有限公司(LINKPHYSICS)于2008年成立,始于代理國(guó)外的知名品牌,是國(guó)內(nèi)知名的低溫設(shè)備制造商,是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高新技術(shù)企業(yè),上海市“專精特新”企業(yè)、上海市寶山區(qū)企業(yè)技術(shù)中心、擁有ISO9001質(zhì)量管理系統(tǒng)認(rèn)證證書、2023年入選寶山區(qū)工業(yè)新升規(guī)快速成長(zhǎng)企業(yè),主要為高校、科研院所、制造業(yè)研發(fā)中心及系統(tǒng)集成企業(yè)提供先進(jìn)的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)及科研儀器設(shè)備,多年致力深耕低溫磁場(chǎng)及探針臺(tái)技術(shù)。
  
主營(yíng)產(chǎn)品:公司主營(yíng)產(chǎn)品有室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。

室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。

4K閉循環(huán)低溫探針臺(tái)在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測(cè)試,幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能,從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。


 PSM-4K系列低溫探針臺(tái)是的一款閉循環(huán)低溫探針臺(tái),其緊湊型以及低振動(dòng)的設(shè)計(jì),能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)<5K-350K高低溫真空測(cè)試環(huán)境。采用閉循環(huán)制冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。


特點(diǎn)
• 采用閉循環(huán)制冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作,可以在不破壞真空 的情況下,切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
• 探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié),能滿足4英寸樣品的測(cè)試。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料,能夠有效減小外界的電磁干擾,提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。
• 探針臂采用三同軸接頭,漏電性能好,實(shí)測(cè)漏電流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 測(cè)試溫度范圍寬,支持4.5K-350K連續(xù)變溫。
• 柔性探針,將探針安裝到銅制彈片上,避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞。


參數(shù)和指標(biāo):

探針臺(tái)主機(jī)分類
型號(hào)
PSM-4K-2
PSM-4K-4
溫度范圍
4.5K--350K
4.5K--350K
控溫穩(wěn)定性
+/-50mK
振動(dòng)
<1μm
樣品座
類型及材料
無氧銅接地鍍金樣品座
尺寸2寸4寸
可選規(guī)格
絕緣樣品座 (溫度只能到350K)
同軸樣品座 (溫度只能到350K)
三同軸樣品座(溫度只能到350K)
探針臂
類型
直流探針臂(標(biāo)準(zhǔn))
可選規(guī)格微波探針臂、光纖探針臂
可訂制規(guī)格
                            雙光纖探針臂、直流和微波組合探針臂、熱電偶探針臂
數(shù)量4(標(biāo)準(zhǔn)),最多可配6
接頭及電纜
三同軸接頭+極細(xì)同軸低溫電纜
漏電流
100fA@1V 真空環(huán)境中
信號(hào)頻率
DC--50MHz
匹配阻抗
50歐姆
位移范圍X+/- 35mm,Y+/- 12.5mm
Z +/-6.5mm R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm
Z +/-6.5mm R+/-10°
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡放大倍數(shù)
10--180倍
分辨率
3微米
視場(chǎng)
22mm
工作距離
90--100mm
真空腔
材料
鋁合金
腔體容積
9L
12L
整體尺寸
900*900*600
900*900*600
腔體內(nèi)徑
280mm
280mm
視窗尺寸
50mm
100mm
真空腔體窗口
標(biāo)準(zhǔn)石英窗口
防輻射屏窗口
紅外吸收窗口
真空度
5E-4 torr
預(yù)留接口
2個(gè)探針臂接口&2個(gè)電學(xué)接口
防輻射屏材料
不銹鋼
冷卻時(shí)間
120分鐘到5K
150分鐘到5K
冷源
GM制冷機(jī)
專用振動(dòng)隔離桌
尺寸
800*800*800
900*900*800
桌推
固定腳&滾輪





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  • 其他
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