PSEM系列 室溫電磁鐵探針臺
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
室溫探針臺、低溫探針臺、全自動探針臺、半自動探針臺、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)、三維磁場測試平臺、溫控儀等產(chǎn)品。
室溫電磁鐵探針臺不僅可以完成永磁鐵探針臺所能完成的測試，并且可以為樣品測試提供一個可變磁場，磁場較強，磁場均勻區(qū)較大。此款探針臺專門為在測量過程中需要連續(xù)磁場變化的實驗設(shè)計，在室溫下對芯片、晶圓和器件進行非破壞測試。
PSEM系列室溫電磁體探針臺是一款專門針對室溫可變磁場電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，提供±0.6T垂直磁場或±0.3T水平磁場，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進行重復(fù)性的、標準的電學(xué)實驗，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。
特點
• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，通過移動樣品座下面的滑臺，可以實現(xiàn)X-Y軸±50mm的移動行程，并且樣品座本身可以進行三維上的精細調(diào)節(jié)，使得樣品測試和換樣 更加便捷。
• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調(diào)節(jié)，配合樣品座位移調(diào)節(jié)，可滿足探針快速扎到4英寸樣品的任意位置（探針臂可安裝6個，水平磁場電磁鐵探針臺可安裝4個）
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內(nèi)，探針臂內(nèi)置線纜，避免雜亂的走線
• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電
• 電磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導(dǎo)到樣品上
• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附，有外圈、內(nèi)圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品
• CCD放大倍數(shù)為180倍，工作距離為100mm
型號分類：
| 型號 | PSEM-2H(水平磁場) | PSEM-2V(垂直磁場) | PSEM-4V(垂直磁場) |
| 樣品座尺寸 | 2英寸 | 2英寸 | 4英寸 |
參數(shù)和指標：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材質(zhì)： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內(nèi)圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道 |
| 滑臺 | |
| X-Y移動行程： | 2/4寸:±50mm（水平磁場探針臺無滑臺） |
| 移動精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| X-Y-Z移動行程： | X-13mm，Y-13mm，Z-13mm |
| 旋轉(zhuǎn)度： | 360度自由旋轉(zhuǎn) |
| 移動精度： | 10μm |
| 探針臂數(shù)量： | 垂直磁場電磁鐵探針臺可安裝6個；水平磁場探針臺可安裝4個 |
| 電學(xué)線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 10-180倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| CCD相機分辨率： | 3800萬像素 |
| 電磁鐵組件（垂直磁場） | |
| 磁鐵型號： | EM-60V |
| 磁場大?。?br style="margin: 0px; padding: 0px; transition: all 0.5s ease 0s; box-sizing: border-box; line-height: 38px !important;"/> | ±0.6T |
| 磁鐵間距： | 30mm |
| 極柱： | 直徑60mm，標配一副50mm純鐵極頭 |
| 循環(huán)水冷卻 | |
| 電磁鐵組件（水平磁場） | |
| 磁鐵型號： | EM-30H |
| 磁場大小： | ±0.3T |
| 磁鐵間距： | 60mm |
| 極柱： | 標配一副60mm純鐵極頭 |
| 循環(huán)水冷卻 | |
| 可加選件 | |
| 光學(xué)平臺/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
采購中心
化工儀器網(wǎng)