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諧波減速機(jī)的定義與工作原理2024/09/24: 諧波減速機(jī)，又稱為柔性齒輪減速機(jī)或波發(fā)生器減速機(jī)，是一種集高精度、高效率、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)于一身的新型傳動(dòng)裝置。其傳動(dòng)原理和性能特點(diǎn)使得諧波減速機(jī)在航空航天、機(jī)器人、精密加工設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。定義與工作原理諧波減速機(jī)利用柔性齒輪和剛性齒輪的嚙合傳遞動(dòng)力和運(yùn)動(dòng)。其核心部件包括波發(fā)生器、柔性齒輪和剛性齒輪。波發(fā)生器，通常為橢圓形或雙曲線形，其形狀的變化會(huì)導(dǎo)致柔性齒輪產(chǎn)生周期性的彈性變形，進(jìn)而與剛性齒輪產(chǎn)生嚙合和脫開(kāi)的過(guò)程，從而實(shí)現(xiàn)減速效果。這種傳動(dòng)方式不僅降低了轉(zhuǎn)速，還增大了轉(zhuǎn)矩，滿足了

諧波減速機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域2024/06/17: 上海浜田實(shí)業(yè)有限公司減速機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域的傳動(dòng)裝置，其主要功能是通過(guò)降低轉(zhuǎn)速、增大扭矩來(lái)實(shí)現(xiàn)動(dòng)力傳遞。減速機(jī)作為機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)的重要組成部分，對(duì)于提高設(shè)備的運(yùn)行效率、降低能耗、優(yōu)化性能等方面具有顯著作用。因此，對(duì)減速機(jī)的應(yīng)用進(jìn)行深入研究，對(duì)于推動(dòng)工業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級(jí)具有重要意義。二、減速機(jī)的基本原理及分類減速機(jī)的基本原理是利用齒輪、蝸桿等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，將輸入的高速低扭矩動(dòng)力轉(zhuǎn)化為低速高扭矩的動(dòng)力輸出。根據(jù)傳動(dòng)方式的不同，減速機(jī)可分為齒輪減速機(jī)、蝸桿減速機(jī)等類型。齒輪減速機(jī)具有傳動(dòng)效率

諧波減速機(jī)應(yīng)用2024/04/15: 諧波減速機(jī)（harmonicdrive）是一種齒輪傳動(dòng)裝置，通過(guò)降低轉(zhuǎn)速和增大轉(zhuǎn)矩來(lái)滿足各種工作機(jī)械的需要。這種減速機(jī)廣泛運(yùn)用在航空航天、航海、機(jī)械制造、交通運(yùn)輸?shù)缺姸嘈袠I(yè)。在智能制造領(lǐng)域，高精度諧波減速機(jī)發(fā)揮著重要作用。它主要用于以下設(shè)備中：1.自動(dòng)化生產(chǎn)線：高精度諧波減速機(jī)可用于各種傳送、裝配和定位設(shè)備，保證生產(chǎn)線運(yùn)行的精度和穩(wěn)定性，提高生產(chǎn)效率。2.數(shù)控機(jī)床：高精度諧波減速機(jī)通常被用來(lái)驅(qū)動(dòng)主軸或工作臺(tái)，提供高精度的加工運(yùn)動(dòng)，確保加工零件的精度和表面質(zhì)量。3.激光加工設(shè)備：在激光切割、激光焊

走刀路線安排2020/12/02: 走刀路線就是刀具在整個(gè)加工工序中的運(yùn)動(dòng)軌跡，它不但包括了工步的內(nèi)容，也反映出工步順序。走刀路線是編寫程序的依據(jù)之一。在確定走刀路線時(shí)主要考慮以下幾點(diǎn)：（1）尋求短加工路線，減少空刀時(shí)間以提高加工效率；（2）為保證工件輪廓表面加工后的粗糙度要求，終輪廓應(yīng)安排在后一次走刀,中連續(xù)加工出來(lái)；（3）刀具的進(jìn)、退刀切入與切出路線要認(rèn)真考慮，以盡量減少在輪廓切削中停刀，切削力突然變化造成彈性變形而留下刀痕，也要避免在工件輪廓面上垂直上下刀而劃傷工件；（4）要選擇工件在加工后變形小的路線，對(duì)橫截面積小的細(xì)長(zhǎng)

干法刻蝕工藝2020/11/26: 刻蝕是用化學(xué)或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過(guò)程?？涛g是在硅片上進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移的后主要工藝步驟。半導(dǎo)體刻蝕工藝有兩種基本方法：干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法，濕法腐蝕使用液體腐蝕的加工方法，主要用于特征尺寸較大的情況。按照被刻蝕材料來(lái)分，干法刻蝕主要分成：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕?？涛g也可以分成有圖形刻蝕和無(wú)圖形刻蝕。有圖形刻蝕可用來(lái)在硅片上制作不同圖形，例如柵、金屬互連線、通孔、接觸孔和溝槽。無(wú)圖形刻蝕用于剝離掩蔽層。有圖形或無(wú)圖形刻蝕都可以分別采用干

光刻膠軟烘2020/11/23: 軟烘的目的是去掉光刻膠中的溶劑、增強(qiáng)光刻膠的粘附性、釋放旋轉(zhuǎn)涂膠產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力、改善線寬控制、防止光刻膠粘附到其他器件上。軟烘在真空熱板上進(jìn)行，軟烘設(shè)備工作原理如圖2.17所示，硅片放在真空熱板上，熱量從硅片背面通過(guò)熱傳導(dǎo)方式加熱光刻膠。一般軟烘溫度為85~120℃，時(shí)間為30~60S。軟烘后將硅片轉(zhuǎn)移到軌道系統(tǒng)的冷板上冷卻以便下一步操作。以光學(xué)紫外曝光為例，首先將硅片定位在光學(xué)系統(tǒng)的聚焦范圍內(nèi)，硅片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與掩模版上相匹配的標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)后，紫外光通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)和掩模版圖形進(jìn)行投影。掩模版圖形若以亮暗

數(shù)控機(jī)床的特點(diǎn)2020/11/16: 1.適應(yīng)性強(qiáng)，適合加工單件或小批量復(fù)雜工件在數(shù)控機(jī)床上加工不同形狀的工件，只需重新編制新工件的加工程序，就能實(shí)現(xiàn)新工件的加工。2.加工精度高，生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定數(shù)控機(jī)床的脈沖當(dāng)量普遍可達(dá)0.001mm/p，傳動(dòng)系統(tǒng)和機(jī)床機(jī)構(gòu)都具有很高的剛度和熱穩(wěn)定性，進(jìn)給系統(tǒng)采用間隙措施，并對(duì)反向間隙與絲缸螺距誤差等由數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)補(bǔ)償，所以加工精度高。3.生產(chǎn)率高工件加工所需時(shí)間包括機(jī)動(dòng)時(shí)間和輔助時(shí)間。數(shù)控機(jī)床能有效的減少這兩部分時(shí)間。數(shù)控機(jī)床主軸轉(zhuǎn)速和進(jìn)給量的調(diào)速都比普通機(jī)床的范圍大，機(jī)床剛性好，快速移動(dòng)和停止

干法刻蝕2020/11/05: 在半導(dǎo)體制造中，干法刻蝕是用來(lái)去除表面材料的主要的刻蝕方法。干法刻蝕是把硅片表面暴露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體，等離子體通過(guò)光刻膠中開(kāi)出的窗口與硅片發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)，從而去掉暴露的材料。一個(gè)等離子體干法刻蝕系統(tǒng)由發(fā)生刻蝕反應(yīng)的反應(yīng)腔、一個(gè)產(chǎn)生等離子體的射頻電源、氣體流量控制系統(tǒng)、去除刻蝕生成物和氣體的真空系統(tǒng)等組成?？涛g反應(yīng)系統(tǒng)包括傳感器、氣體流量控制單元和終點(diǎn)觸發(fā)探測(cè)器。一般的干法刻蝕中的控制參數(shù)包括真空度、氣體混合組分、氣流流速、溫度、射頻功率和硅片相對(duì)于等離子體的位置。常用的干法等離子體反應(yīng)

圖形化工藝2020/10/29: 圖形化工藝是半導(dǎo)體工藝過(guò)程中重要的工序之一，它是用來(lái)在不同的器件和電路表面上建立平面圖形的工藝過(guò)程。這個(gè)工藝過(guò)程的目標(biāo)有兩個(gè)，首先是在晶圓表面上產(chǎn)生圖形，這些圖形的尺寸在集成電路或器件設(shè)計(jì)階段建立；第二個(gè)目標(biāo)是將電路圖形正確地定位于晶圓表面。整個(gè)電路圖形必須被正確地置于晶圓表面，它們與晶圓襯底的相對(duì)晶向，以及電路圖形上單獨(dú)的每一部分之間的相對(duì)位置也必須是正確的。圖形化工藝是一種基本操作，在操作結(jié)束時(shí)，晶圓表面層上將剩下孔洞或島區(qū)。圖形化工藝也經(jīng)常被稱為光刻(Photolithography)。圖

刻蝕工藝2020/10/21: 刻蝕是用化學(xué)或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過(guò)程?？涛g是在硅片上進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移的后主要工藝步驟。半導(dǎo)體刻蝕工藝有兩種基本方法：干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法，濕法腐蝕使用液體腐蝕的加工方法，主要用于特征尺寸較大的情況。按照被刻蝕材料來(lái)分，干法刻蝕主要分成：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕?？涛g也可以分成有圖形刻蝕和無(wú)圖形刻蝕。有圖形刻蝕可用來(lái)在硅片上制作不同圖形，例如柵、金屬互連線、通孔、接觸孔和溝槽。無(wú)圖形刻蝕用于剝離掩蔽層。有圖形或無(wú)圖形刻蝕都可以分別采用干

集成電路制造工藝2020/10/19: 芯片廠中通常分為擴(kuò)散區(qū)、光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、離子注入?yún)^(qū)、薄膜生長(zhǎng)區(qū)和拋光區(qū)6個(gè)生產(chǎn)區(qū)域：?擴(kuò)散區(qū)是進(jìn)行高溫工藝及薄膜積淀的區(qū)域，主要設(shè)備是高溫爐和濕法清洗設(shè)備；②光刻區(qū)是芯片制造的心臟區(qū)域，使用黃色熒光管照明，目的是將電路圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋于硅片表面的光刻膠上；③刻蝕工藝是在硅片上沒(méi)有光刻膠保護(hù)的地方留下的圖形；④離子注入是用高壓和磁場(chǎng)來(lái)控制和加速帶著要摻雜的雜質(zhì)的氣體；高能雜質(zhì)離子穿透涂膠硅片的表面，形成目標(biāo)硅片；⑤薄膜生長(zhǎng)主要負(fù)責(zé)生產(chǎn)各個(gè)步驟中的介質(zhì)層與金屬層的淀積。⑥拋光，即CMP（化學(xué)機(jī)械平坦化

機(jī)臺(tái)如何蒸鍍2020/09/09: 蒸鍍就加熱方式差異，分為電阻式(thermalcoater)與電子槍式(E-gunevaporator)兩類機(jī)臺(tái)。前者在原理上較容易，就是直接將準(zhǔn)備熔融蒸發(fā)的金屬以線材方式掛在加熱鎢絲上，一旦受熱熔融，因液體表面張力之故，會(huì)攀附在加熱鎢絲上，然后徐徐蒸著至四周(包含晶圓)。因加熱鎢絲耐熱能力與供金屬熔液攀附空間有限，僅用于低熔點(diǎn)的金屬鍍著，如鋁，且蒸著厚度有限。電子槍式蒸鍍機(jī)則是利用電子束進(jìn)行加熱，熔融蒸發(fā)的金屬顆粒全擺在石墨或鎢質(zhì)坩堝(crucible)中。待金屬蒸氣壓超過(guò)臨界限度，也開(kāi)始徐徐

半導(dǎo)體中的干蝕刻如何理解2020/08/31: 干蝕刻是一類較新型，但迅速為半導(dǎo)體工業(yè)所采用的技術(shù)。其利用電漿(plasma)來(lái)進(jìn)行半導(dǎo)體薄膜材料的蝕刻加工。其中電漿必須在真空度約10至0.001Torr的環(huán)境下，才有可能被激發(fā)出來(lái)；而干蝕刻采用的氣體，或轟擊質(zhì)量頗巨，或化學(xué)活性*，均能達(dá)成蝕刻的目的。干蝕刻基本上包括「離子轟擊」(ion-bombardment)與「化學(xué)反應(yīng)」(chemicalreaction)兩部份蝕刻機(jī)制。偏「離子轟擊」效應(yīng)者使用氬氣(argon)，加工出來(lái)之邊緣側(cè)向侵蝕現(xiàn)象極微。而偏「化學(xué)反應(yīng)」效應(yīng)者則采氟系或氯系氣體

半導(dǎo)體氧化制程的一些要點(diǎn)2020/08/12: （1）氧化層的成長(zhǎng)速率不是一直維持恒定的趨勢(shì)，制程時(shí)間與成長(zhǎng)厚度之重復(fù)性是較為重要之考量。（2）后長(zhǎng)的氧化層會(huì)穿透先前長(zhǎng)的氧化層而堆積于上；換言之，氧化所需之氧或水汽，勢(shì)必也要穿透先前成長(zhǎng)的氧化層到硅質(zhì)層。故要生長(zhǎng)更厚的氧化層，遇到的阻礙也越大。（3）干氧層主要用于制作金氧半（MOS）晶體管的載子信道（channel）；而濕氧層則用于其它較不嚴(yán)格講究的電性阻絕或制程罩幕（masking）。前者厚度遠(yuǎn)小于后者，1000~1500埃已然足夠。（4）對(duì)不同晶面走向的晶圓而言，氧化速率有異：通常在相同成

滾齒與插齒的比較2020/08/10: 滾齒是刀齒作連續(xù)的旋轉(zhuǎn)切削、切削速度較高，插齒是刃齒作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，限制了切削速度，故滾齒生產(chǎn)率比插齒烙高，滾齒機(jī)可以加工直齒、斜齒圓柱齒輪和蝸輪，但不能加工內(nèi)齒輪和相距太近的多聯(lián)齒輪；插齒時(shí)播齒刀沿齒全長(zhǎng)連續(xù)切出，包絡(luò)線數(shù)量也多，而滾齒時(shí)輪齒全長(zhǎng)是由滾刀多次連續(xù)切出，故插齒的齒面粗糙度值較??；插齒刀的制造、刃磨檢驗(yàn)壁滾刀方便，易得到高精度，但插齒機(jī)分齒傳動(dòng)鏈比滾齒復(fù)雜，因此，加工齒輪的精度基本一樣；插齒機(jī)可以加工內(nèi)齒輪和多聯(lián)齒輪,但不能加工蝸輪。

齒輪定向基準(zhǔn)2020/08/05: 定位基準(zhǔn)的精度對(duì)齒形加工精度有直接的影響。軸類齒輪的齒形加工一般選擇孔定位，某些大模數(shù)的軸類齒輪多選擇齒輪軸頸和一端面定位。盤套類齒輪的齒形加工常采用兩種定位基準(zhǔn)。1）內(nèi)孔和端面定位選擇既是設(shè)計(jì)基準(zhǔn)又是測(cè)量和裝配基準(zhǔn)的內(nèi)孔作為定位基準(zhǔn)，既符合“基準(zhǔn)重合”原則，又能使齒形加工等工序基準(zhǔn)統(tǒng)一，只要嚴(yán)格控制內(nèi)孔精度，在芯軸上定位時(shí)不需要找正。故生產(chǎn)率高，廣泛用于成批生產(chǎn)中。2）外圓和端面定位齒坯內(nèi)孔在通用芯軸上安裝，用找正外圓來(lái)決定孔中心位置，故要求齒坯外圓對(duì)內(nèi)孔的徑向跳動(dòng)要小。因找正效率低，一般用于

齒輪的技術(shù)要求2020/06/29: 齒輪本身的制造精度，對(duì)整個(gè)機(jī)器的工作性能、承載能力及使用壽命都有很大的影響。根據(jù)其使用條件，齒輪傳動(dòng)應(yīng)滿足以下幾個(gè)方面的要求。（1）傳遞運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確性我們要求齒輪能較準(zhǔn)確地傳遞運(yùn)動(dòng)并使傳動(dòng)比恒定。即要求齒輪在一轉(zhuǎn)中的轉(zhuǎn)角誤差不超過(guò)一定范圍。（2）傳遞運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性我們要求齒輪傳遞運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，以減小沖擊、振動(dòng)和噪聲。即要求限制齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)瞬時(shí)速比的變化。（3）載荷分布均勻性我們要求齒輪工作時(shí)，齒面接觸要均勻，以使齒輪在傳遞動(dòng)力時(shí)不致因載荷分布不勻而使接觸應(yīng)力過(guò)大，引起齒面過(guò)早磨損。接觸精度除了包括齒面接觸均勻

齒輪材料有哪些選擇2020/06/10: 在加工之前，為了保證齒輪工作的可靠性，提高其使用壽命，齒輪的材料及其熱處理應(yīng)根據(jù)實(shí)際的工作條件和材料的特點(diǎn)來(lái)選取。對(duì)齒輪材料的基本要求是：應(yīng)使齒面具有足夠的硬度和耐磨性，齒心具有足夠的韌性，以防止齒面的各種失效，同時(shí)應(yīng)具有良好的冷、熱加工的工藝性，以達(dá)到齒輪的各種技術(shù)要求?？梢灾赖氖?，常用的齒輪材料為各種牌號(hào)的優(yōu)質(zhì)碳素結(jié)構(gòu)鋼、合金結(jié)構(gòu)鋼、鑄鋼、鑄鐵和非金屬材料等。一般多采用鍛件或軋制鋼材。當(dāng)齒輪結(jié)構(gòu)尺寸較大，輪坯不易鍛造時(shí)，可采用鑄鋼。開(kāi)式低速傳動(dòng)時(shí)，可采用灰鑄鐵或球墨鑄鐵。低速重載的齒輪易產(chǎn)

滾切直齒運(yùn)動(dòng)模式2020/06/02: 1）主運(yùn)動(dòng)滾刀的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。2）展成運(yùn)動(dòng)是保證滾齒刀和被切齒輪的轉(zhuǎn)速必須符合所模擬的一對(duì)齒輪的嚙合運(yùn)動(dòng)關(guān)系。即滾刀轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)，工件轉(zhuǎn)K/Z轉(zhuǎn)。其中：K是滾刀的頭數(shù)，Z為齒輪齒數(shù)。3）垂直進(jìn)給運(yùn)動(dòng)要切出齒輪的全齒寬，滾刀須沿工件軸向作垂直進(jìn)給運(yùn)動(dòng)滾齒加工適于加工直齒、斜齒圓柱齒輪。齒輪加工精度為8-7級(jí)，齒面粗糙度Ra值為1.6μm。在滾齒機(jī)上用蝸輪滾刀、鏈輪滾刀還能滾切蝸輪和鏈輪。（3）剃齒加工剃齒是用剃齒刀對(duì)齒輪的齒面進(jìn)行精加工的方法。加工原理：剃齒時(shí)刀具與工件作一種自由嚙合的展成運(yùn)動(dòng)。安裝時(shí)，剃齒

齒形的精加工階段2020/06/01: 這個(gè)階段的目的，在于修正齒輪經(jīng)過(guò)淬火后所引起的齒形變形，進(jìn)一步提高齒形精度和降低表面粗糙度，使之達(dá)到終的精度要求。在這個(gè)階段中首先應(yīng)對(duì)定位基準(zhǔn)面（孔和端面）進(jìn)行修整，因淬火以后齒輪的內(nèi)孔和端面均會(huì)產(chǎn)生變形，如果在淬火后直接采用這樣的孔和端面作為基準(zhǔn)進(jìn)行齒形精加工，是很難達(dá)到齒輪精度的要求的。以修整過(guò)的基準(zhǔn)面定位進(jìn)行齒形精加工，可以使定位準(zhǔn)確可靠，余量分布也比較均勻，以便達(dá)到精加工的目的。影響齒輪傳動(dòng)工作平穩(wěn)性的主要因素是齒輪的齒形誤差△ff和基節(jié)偏差△fpb。齒形誤差會(huì)引起每對(duì)齒輪嚙合過(guò)程中傳動(dòng)

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