三

溫

區(qū)

管

式

爐

產品型號

CY-PECVD50R-1200-Q

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm

爐管長度

2830mm

爐膛長度

660mm

加熱區(qū)長

200mm+200mm+200mm

工作溫度

0～1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

單

溫

區(qū)

管

式

爐

產品型號

CY-O1200-50IT

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm

爐管長度

2830mm

爐膛長度

440mm

加熱區(qū)長

400mm

恒溫區(qū)長

200mm

工作溫度

0～1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

RF

輸

出

系

統(tǒng)

功率范圍

0~500W可調

工作頻率

13.56MHz+0.005%

工作模式

連續(xù)輸出

顯示模式

LCD

匹配阻抗模式

能夠匹配，起輝均勻布滿三溫區(qū)爐管

功率穩(wěn)定度

≤2W

正常工作反射功率

≤3W

放大反射功率

≤70W

諧波分量

≤-50dBc

整機效率

≥70%

功率因素

≥90%

供電電壓/頻率

單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz

控制模式

內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊

電源保護設置

DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護

冷卻方式

強制風冷

起輝長度

在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿三個溫區(qū)的爐體長度

供

氣

系

統(tǒng)

四路質子流量計

質子流量計

流量范圍

MFC1量程：0~200sccm  MFC2量程：0~200sccm

MFC3量程：0~500sccm  MFC4量程：0~500sccm

分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、

測量精度

±1.5%F.S

重復精度

±0.2%FS

線性精度

±1%F.S.

響應時間

≤4s

工作壓力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制

進氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

出氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

連接方式

雙卡套接頭

工作溫度

5~45℃

氣體預混

配氣體預混裝置

供電電源 

 AC:220V 50/60Hz

排

氣

系

統(tǒng)

機械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S   

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16

軌道

軌道長度

3米，能實現(xiàn)三溫區(qū)爐子一個爐位長度的滑動，實現(xiàn)快速升降溫