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CY-PECVD-450T-SS PECVD鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-PECVD-450T-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 11:44:28
- 訪問(wèn)次數(shù) 33
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技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | CY-PECVD-450T-SS |
真空腔體 | 前開門式,φ300mm X 300mm 不銹鋼材質(zhì) 觀察窗:φ100mm 帶擋板 |
真空泵組 | 前級(jí)泵:旋片泵 抽速1.1L/s 次級(jí)泵:渦輪分子泵 抽速600L/s |
極限真空度 | 10-6Pa 三十分鐘內(nèi)可達(dá)到 10-4Pa |
沉積真空 | 0.133~133Pa,可根據(jù)工藝調(diào)整 |
射頻電源 | 13.56MHz,500W,自動(dòng)匹配 |
流量控制 | 質(zhì)量流量計(jì),默認(rèn) Ar氣 0~200sccm |
整機(jī)尺寸 | 1100mm x 800mm x1100mm |
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