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CY-OTF-1200X-II-PEC3-Q 卷對卷式PECVD
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-OTF-1200X-II-PEC3-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 11:41:36
- 訪問次數(shù) 26
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卷對卷式PECVD技術(shù)參數(shù):
1200℃雙溫區(qū)管式爐 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
*大功率 | 3KW | |
加熱溫區(qū) | 雙溫區(qū) 200mm+200mm | |
工作溫度 | ≤1200℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條 | |
爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
爐管尺寸 | φ80mm I.D x 1400mm L | |
密封方式 | 不銹鋼真空法蘭 | |
真空測量 | 電阻規(guī) | |
工作氣體 | 氫氣、氮?dú)?、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體 | |
真空泵 | 雙極旋片式真空泵 | |
極限真空度 | 10^-1Pa | |
三路質(zhì)量流量計(jì) | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
氣路數(shù)量 | 三路 | |
承壓范圍 | 0.05~0.3MPa | |
量程 | 1~100 SCCM(Ar) 1~200 SCCM(H2) 1~500 SCCM (CH4) | |
流量控制范圍 | ±1.5% | |
混氣罐容積 | 750mL | |
氣路材料 | 304不銹鋼 | |
管道接口 | 6.35mm卡套接頭 | |
供電電源 | AC220V 50Hz | |
S射頻電源 | 輸出功率 | 500W |
輸出精度 | ±1% | |
射頻頻率 | 13.56MHz | |
射頻穩(wěn)定度 | ±0.005% | |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
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