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CY-PECVD-50R-1200-Q 單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD石墨烯制備系統(tǒng)

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團隊?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界*好評。

如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團隊為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。




磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,

單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD石墨烯制備

單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預(yù)留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速來更改。可實現(xiàn)在氣氛保護的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環(huán)境下對處理好的料粉進行收集。

設(shè)備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產(chǎn)生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應(yīng)效果,提高反應(yīng)速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學(xué)實驗上。

本設(shè)備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續(xù)旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào),使得管內(nèi)物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應(yīng)更加均勻穩(wěn)定。

技術(shù)參數(shù):

射頻電源

 

 

 

 

 

輸出功率

150W

輸出精度

±1%

射頻頻率

13.56MHz

射頻穩(wěn)定度

±0.005%

冷卻方式

風(fēng)冷

1200℃單溫區(qū)管式爐

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

2KW

加熱溫區(qū)

單個溫區(qū)200mm

工作溫度

*高1200℃,連續(xù)運行溫度應(yīng)≤1100

控溫精度

±1

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

三溫區(qū)獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ50x800mm

密封方式

真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

可調(diào)轉(zhuǎn)速

0-20rpm

傾斜角度

0-15°

真空泵

旋片機械泵

極限真空度

1.0E-1Pa

進料方式

真空漏斗加螺桿進料




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