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CY-PECVD-500T-SS PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 CYKY
  • 型號(hào) CY-PECVD-500T-SS
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/7/30 18:42:48
  • 訪問(wèn)次數(shù) 96

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市開(kāi)發(fā)區(qū),是一家專(zhuān)業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專(zhuān)注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來(lái),在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問(wèn),他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問(wèn),并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界好評(píng)。

如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無(wú)人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問(wèn)題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠(chéng)信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。






磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂?jī)x,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長(zhǎng)爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),

PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),能夠利用高能量等離子體促進(jìn)反應(yīng)過(guò)程,有效提升反應(yīng)速度,降低反應(yīng)溫度。適用于在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽(yáng)電池器件,可廣泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱(chēng)

PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-PECVD-500T-SS

供電電源

AC220V 50Hz

射頻電源

信號(hào)頻率

13.56MHz

功率輸出范圍

0~300W

*大反射功率

100W

反射功率 (在*大功率時(shí))

<5W

功率穩(wěn)定性

±0.1%

工作腔體

加熱溫度

RT-400℃

溫控精度

±1℃

樣品臺(tái)尺寸

Φ200mm

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

1-20rpm 可調(diào)

噴頭尺寸

Φ200mm

距離

噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續(xù)可調(diào)

沉積工作真空

0. 133- 133Pa (可根據(jù)工藝調(diào)整)

法蘭

上翻蓋設(shè)計(jì),基材易更換,并有可視窗口

腔體

不銹鋼材質(zhì), Φ500mm * 500mm

觀察窗

Φ40mm

供氣系統(tǒng)

通道數(shù)

定制

測(cè)量單位

質(zhì)量流量計(jì)

測(cè)量范圍

A 通道: 0200SCCM for H2  

B 通道: 0200SCCM for CH4

C 通道: 0200SCCM for C2H4

D通道: 0500SCCM for N2

E通道: 0500SCCM for NH3

F通道: 0500SCCM for Ar

測(cè)量精度

±1.5%F.S

工作壓差

-0.15Mpa~0.15Mpa

連接管材質(zhì)

304 不銹鋼

氣路

304 不銹鋼針閥

進(jìn)氣和出氣接口規(guī)格

1/4" 卡套接頭

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵抽速

4.7L/s

分子泵抽速

60L/s

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì), 范圍10-5Pa ~ 105Pa

真空度

5.0*10-3Pa

水冷機(jī)

冷卻水溫度

37

水流速

10L/min

功率

0.1KW

冷卻功率

50W/℃

空壓機(jī)

OTS-550

產(chǎn)品尺寸

1362*736*1434

產(chǎn)品重量

280公斤



化工儀器網(wǎng)

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