沉積腔體

不銹鋼水冷夾層

根據(jù)電極尺寸設計合適的腔體尺寸，保證腔壁與電極之間無放電情況產(chǎn)生

開腔方式

升降開腔或前開門，方便放樣及清理

觀察窗

設置多個觀察窗保證能夠觀察到陰陽極及沉積臺

真空系統(tǒng)

真空泵

通過機械泵抽真空，無需配置分子泵

極限真空

0.1~1Pa

抽氣時間

5~15min

抽氣孔設置

保證抽氣均勻性

氣壓調(diào)節(jié)范圍

0.1Pa~30KPa

放氣閥

可以恢復至大氣開腔

真空規(guī)

高精度真空規(guī)準確測量腔體氣壓值

配氣系統(tǒng)

氣源配置

氫氣、甲烷 、氮氣、氬氣、氧氣5路氣源，額外預留一路備用

氣體流量控制

體流量通過MFC進行控制，根據(jù)腔體大小選取合適量程的流量計，不同流量大小會影響升壓時間，一般情況下流量比氫氣:甲烷:氮氣:氬氣:氧氣為40:1:1:40:1

進氣孔設置

合理的進氣孔設置，保證進氣均勻性

水冷系統(tǒng)

水冷機功率

水冷機制冷功率、揚程應與設備發(fā)熱量及冷卻水流量匹配，且溫度可調(diào)，一般設置在20℃左右

閥門

沉積腔體、陰極、陽極都需要進行冷卻，需要設置分水器，并在分水器上各分路進出水口設置手動閥門

工作溫度

陽極工作溫度為600-1100℃，陰極工作溫度為700-1100℃

電源

工作電壓

600~1200V，輸出電壓可調(diào)

工作電流

6~15A

控制系統(tǒng)

1)    氣體流量控制；

2)    電極升降控制，陰陽極間距實時顯示，控制精度1mm；

3)    陰陽極及襯底溫度監(jiān)測與顯示；

4)    部分功能可以手動調(diào)節(jié)，如氣壓；

5)    故障報警，防止誤操作；

電極

1)   陽極直徑60mm，材質(zhì)為銅

2)   陰極直徑80~100mm，材質(zhì)為鉬，長時間使用后，陰極表面易沉積碳從而導致放電不穩(wěn)定，因此需要設計成可更換結構；

3)   陰陽極間距可調(diào)，范圍10~60mm，距離實時顯示，調(diào)節(jié)精度1mm;

4)   陰陽極邊緣可以倒小圓角，防止邊緣放電；

5)   陽極可以加負偏壓，偏壓范圍0~400V；

6)   電極邊緣做絕緣處理，防止邊緣放電；